Beberapa gelombang ultrasonik megahertz biasanya digunakan dalam industri untuk deteksi cacat. Gelombang ultrasonik dengan frekuensi tinggi memiliki linearitas rambat yang kuat, mudah merambat dalam benda padat, dan mudah dipantulkan ketika bertemu dengan antarmuka yang dibentuk oleh dua media berbeda, sehingga dapat digunakan untuk deteksi cacat.
Biasanya probe ultrasonik digunakan untuk melakukan kontak yang baik dengan permukaan benda kerja yang akan diperiksa. Probe dapat secara efektif memancarkan gelombang ultrasonik ke benda kerja, menerima gelombang ultrasonik yang dipantulkan dari antarmuka (cacat), dan pada saat yang sama mengubahnya menjadi sinyal listrik, dan kemudian mengirimkannya ke instrumen untuk diproses.
Berdasarkan kecepatan rambat gelombang ultrasonik dalam medium (sering disebut kecepatan suara) dan waktu rambatnya, lokasi cacat dapat diketahui. Jika cacatnya semakin besar, permukaan reflektifnya semakin besar, dan energi yang dipantulkannya pun semakin besar. Oleh karena itu, besarnya setiap cacat (ekuivalen) dapat ditentukan berdasarkan besar kecilnya energi yang dipantulkan. Bentuk gelombang yang umum digunakan untuk deteksi cacat meliputi gelombang longitudinal, gelombang transversal, gelombang permukaan, dll. Dua gelombang pertama cocok untuk mendeteksi cacat internal, sedangkan gelombang kedua cocok untuk mendeteksi cacat permukaan, tetapi memiliki persyaratan tinggi pada kondisi permukaan.
